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高真空擴散泵的工作原理主要分兩個部分
點擊次數：248 發布時間：2023-03-15
高真空擴散泵是一種常用的真空泵，其主要運用于對于高真空的抽取任務，具有抽取速度快，體積小等優點。那么，它是如何工作的呢？
它的工作原理主要分為兩個部分。
一是加熱部分，也就是依靠加熱器將靶材或者坩堝內的固態物質升溫至高溫，使其迅速揮發，形成高溫蒸汽。
二是抽氣部分，即利用泵體內的擴散機構對高溫蒸汽進行抽取，通過下游系統的管道將氣體排出去，達到真空效果的一個過程。
在高真空擴散泵中，加熱部分的作用主要是將靶材或者其他固態物質進行升溫，在這個過程中，固態物質逐漸變成氣態，再通過抽氣部分將其抽出，形成高速、高質量的高溫氣體流。這樣，不斷循環操作下去，就可以逐漸將被抽空的空間變成高真空環境。
高真空擴散泵的抽氣部分，主要是通過內部某種特殊組織結構下的氣體擴散增加泵的抽氣速率和吞吐量。其抽氣原理是：在泵內形成氣體流動，在其裝置內形成高速氣漿，并將其中的分子輸送到吸附表面。通過高真空環境則會在表面上發生吸附，在高溫蒸汽的作用下，吸附的過程將得到逐漸解除。這里的能量轉換方式通過氣體的擴散和移動形成。而其抽氣器結構則是合理地根據上述原理設計而來，通過抽氣器的擺動或旋轉等技術手段，可以將這些吸附在泵內表面上的氣體分子重新揮發并抽出，裝置出口處形成的真空環境得到維護和保持。
總之，高真空擴散泵通過上述加熱和抽氣原理，不斷地將被抽空的空間內的氣體逐漸排出，不斷加深真空度，形成了一種非常高質量的真空環境。而其依靠加熱裝置和抽氣裝置相關結構相互作用，則有了更為出色的抽取效率和迅速響應能力，也成為各個領域的必裝設備。
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